超精密小型 マシニング/グライディングセンタ「AUM-10」
1マイクロ精度の超精密加工を手軽に実現しました。
本機の狙い
小型部品を対象とした超微細加工機です。
加工範囲はX軸１００ｍ、Ｙ軸１８０ｍｍ、Ｚ軸は１３０ｍｍです。
Ｘ.Ｙ.Ｚ軸ともリニアモータを装備し、1ナノ分解能でスケールフィードバック制御します。
これにより一般的な精密マシニングセンタの加工精度より1桁上が狙えます。
エンドミルなどの切削工具に加え、最大径30㎜の砥石による研削加工もできます。
非鉄金属はもちろん、焼入れ鋼、超硬などの高硬度材の超精密研削加工に適します。
特徴
1. NC最小指令単位は10nm（ナノ）。
2. 3軸ともリニアモーター、1nmスケールを装備。
3. 加工精度 ±1μｍレベルの実現。
4. 同クラスの加工機としては低価格を実現。
5. 光学、半導体向けの小型金型加工に最適。
仕様
1. CNC3軸 最小指令分解能： １０nm（ナノ）
2. 40000min-1 ビルトインスピンドル
3. 1μmレベル精度（加工範囲100㎜*180㎜）
4. 超微細加工と研削加工を兼ねた加工機
5. 精度最優先： ガイド軸と主軸は同一線構造
6. タッチプローブによる機内計測
各軸はサブマイクロレベルに機内で精度調整しています
1.各軸ストローク
Ｘ軸: 100㎜
Ｙ軸: 180㎜
Ｚ軸: 130㎜
2.スピンドル
回転数: 40,000min-1
ビルトインモーター HSK-E25
3.ATC
工具本数: 6本
4.最大装着工具
φ８エンドミル
φ30 軸砥石
5.機内計測装置
タッチプローブによる機内計測（オプション）
計測繰り返し精度 ±1μｍ
機械精度(実測値です)
繰り返し位置決め精度
| Ｘ軸 | ±0.04μｍ |
|---|---|
| Ｙ軸 | ±0.06μｍ |
| Ｚ軸 | ±0.10μｍ |
位置決め精度
| Ｘ軸 | ±0.2μｍ/100ｍｍ |
|---|---|
| Ｙ軸 | ±0.25μｍ/180ｍｍ |
| Ｚ軸 | ±0.3μｍ／100ｍｍ |
加工精度
| 被削材 | A5056 φ15ｍｍ円柱の外径切削 |
|---|---|
| 回転数 | 18000min-1 |
| 送り | 30mm/min |
| 切削方法 | ＸＹ補間による円弧切削 |
| 刃物 | φ6mmエンドミル |
| 加工物の真円度 | 0.5μｍ |
タッチロープによる機内計測
【 計測繰り返し精度 ±1μｍ 】
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